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CSNSM - UMR8609
Bâtiments 104 et 108
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Les porte-objets


Le groupe SEMIRAMIS a développé, au cours du temps, une quinzaine de porte-objets permettant de faire des irradiations, des implantations, ou des dépôts dans différentes conditions de températures et de géométrie.
Ils permettent de réaliser les expériences dans une plage de température allant de l’azote liquide jusqu’à 1200K. Pour certaines études, plus spécifiques, un cryostat ou un ellipsomètre peuvent être couplés aux lignes de faisceaux. L’étude de nouveaux porte-échantillons peut également être envisagée si nécessaire.

Des goniomètres chauffants (max 1200K) et refroidi (77K) ont été développés pour permettre des caractérisations in situ, pendant les implantations/irradiations.

Goniomètre chauffant à 600°C Goniomètre chauffant à 1000°C
Goniomètre chauffant à 600°C Goniomètre chauffant à 1000°C

D’autres montages offrent la possibilité de travailler en rotation sur des cylindres, ou bien de sélectionner différentes zones d’irradiations avec des systèmes de cache et de translation.

Afin d’optimiser le temps machine, les porte-objets à barillet permettent des implantations de petites séries, jusqu’à 6 plaques d’échantillons (surface utile 6 x 12 cm2), sans remise à l’air. Enfin, pour les plus grandes séries, le traitement rapide d’un grand nombre d’échantillons est possible via un système de porte-objets de type SAS, limitant le volume remis à la pression atmosphérique.

Barillet refroidi à l’azote liquide Barillet 6 positions travaillant
à la température ambiante
Barillet refroidi à l'azote liquide Barillet 6 positions travaillant à la température ambiante

La surface exposée au faisceau est fonction de la taille des échantillons et des conditions expérimentales ; dans le cas le plus favorable, elle est de l’ordre de 10 cm de diamètre.

Pour plus de précisions :


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